?FEP〔氟化乙烯丙烯共聚物〕因其優秀介電性能、化學惰性、耐熱性、柔韌性,于半導體、有機行業具有許多用途。以下是其主要用途方向及典型示例:
1. 有機場效應晶體管〔OFET〕介電層
- FEP 可作為 OFET 柵極介電層,提供穩固不導電性能,并于寬溫度范圍內保持器件性能。
- 其低表面能、高擊穿場強有助于實現高遷移率、低操作電壓 OFET,適用于柔性、可穿戴設備。
2. 傳感器、探測器
- FEP 被用于高靈敏度指紋傳感器、氣體傳感器、光電探測器。例如,于 OFET 結構中引入 FEP 介電層可提升對 NO? 氣體檢測限、選擇性。
- 其光學透明性〔尤其于紫外至可見光區域〕使其適用于微流控芯片中熒光、吸光度檢測。
3. 存儲器、電容
- FEP 作為鐵電體或介電材料用于嵌入式非易失存儲器〔如 FeFET〕、電容元件,能夠實現邏輯?存儲一體化。
- 于柔性 2T0C DRAM 單元中,FEP 類介電層幫助實現長保持時間、多比特操作。
4. 微流控、光化學反應器
- FEP 管材或芯片被用作微反應器,因其化學惰性、低吸附性、紫外光透過性,適合進行光化學合成、生物分析。
- “click”機械組裝技術使 FEP 平板微反應器可實現無泄漏、無需通風櫥紫外光反應。
5. 能源、熱管理
- FEP 封裝層用于空間及面太陽能電池模塊,提供耐候、抗紫外、不導電保護。
- 于電熱冷卻器件中,FEP 作為電活性聚合物用于固態制冷系統。
6. 柔性/可穿戴
- FEP 機械柔韌性、可加工性使其作為柔性電路、可拉伸傳感器、紡織理想基板或封裝材料。
總結
FEP 于半導體技術中用途主要集中于高頻、高可靠性介電層、傳感器、存儲器、微流控還有柔性行業。隨著有機、半導體工藝進一步發展,其于低功耗、高集成度器件中使用前景仍將連續擴大。
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